Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы на его основе

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    08-Dec-2016

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' () , 5 (R 7;5 , L 20 ); 100 (), 150 (), 200 250 ( ), ( ), () (R 7;5 L 20 ,Ppl 250 ): 2 (), 5 (), 10 100 ( ).</p><p>524 .. fl [fl 2008</p></li><li><p> - B &gt; 1 [44,45] , </p><p>c 2k 2</p><p>o 2Le5 1 ;</p><p>oOe</p><p> 1 . , -- . -800 900 -, , - , o -. - f ne ne , , - - 800 900 . , (1), (2), (18).</p><p> . fl 7 - J - Pgen - . J Pgen - , 1 , , . , - . - Pgen Pb, Pgen Pf, - Pf. 1 .' , Pb Pf, Pb Pf -</p><p> . , o -. , , 1,4 , - Pgen 300 .</p><p> -- [41]. , - , Pmin, , - , - Pmin, B. . 8, , B4 2 , -- ( ), -. . , . - - -, . - - ( ) - -, - (. [46]).</p><p> , , - - [41, 46]. - : . - , Pgen . - - ne 1011 3. - . , , -, , -, - .</p><p>4.2. ' , , , - 3,6 [46], Rpl4Rant --.</p><p>528 .. fl [fl 2008</p></li><li><p>fl 9, . -- , --, , . , - . - B , Bmax - Bcr . -</p><p> - - (. 9, ). , , - . fl , -. - - o- , .. 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' ne () T effe () r B 0 (1), 0,5 (2), 1,1 (3), 1,4 (4); 7,5 15 ; - 150 ; 4 .</p><p>530 .. fl [fl 2008</p></li><li><p> , .</p><p>fl 10 - Ppl, , - Iant. , Bmax Ppl , B &gt; Bmax , , . ' .</p><p> , , . , . [46] Ne.</p><p>fl 11 [46], Ne=Ppl p , , p . fi , , 40 , , . , </p><p> - , - - - - . - Ne=Ppl p (Ppl &lt; 40 ) , , , -, .</p><p> , - , [41, 46]. fl 12 , B -. , , B &gt; Bmax , - . B Bmax, . - B &gt; Bcr , , . - . - - - , , , . --, , , , B [46].</p><p> (. 12) - , Rpl4Rant. ', , . 3 , Rpl B , . - , , , . , , - . - Rpl - . . 12 - , - -, -.</p><p>80</p><p>100</p><p>180</p><p>160</p><p>140</p><p>120</p><p>60</p><p>40</p><p>20</p><p>0 0,2 0,4 0,6 0,8 1,0 1,2 1,4 1,6</p><p>fi , </p><p>Ppl, </p><p>3</p><p>4</p><p>2</p><p>1</p><p>c. 10. ' , , -: 1 100 , 2 150 , 3 200 , 4 300 . 2 . .</p><p>0 20 40 60 80 100 120</p><p>Ppl, </p><p>Ne=Pplp,..</p><p>140 160 180 200</p><p>0,2</p><p>0,4</p><p>0,6</p><p>0,8</p><p>1,0</p><p>. 11. 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' , , , "" - "" : () B 40 , () B 150 .</p><p>P capgenPindgen</p><p>Rant</p><p>Lant L1</p><p>C1</p><p>C2</p><p>R</p><p>L2</p><p>M</p><p>L1</p><p>C1</p><p>C2</p><p>L2</p><p>R</p><p>M</p><p>Pgen</p><p>Rant</p><p>Lant</p><p>. 15. -, - (), ().</p><p>0 200 400 600 800 1000</p><p>,10</p><p>103</p><p>2</p><p>4</p><p>6</p><p>8</p><p>43</p><p>21</p><p>P indgen , </p><p>. 16. ' - P indgen , , P capgen :1 0, 2 1 , 3 5 , 4 10 .</p><p>534 .. fl [fl 2008</p></li><li><p> . , , - - neP indgen. ne , , .</p><p> , - , - - . - , , . fl .</p><p>5.2. ' - - -. fl 17 , , . . 17, 0,5 1,3 , 1,6 . , - , - . - - , , , , -, , . ( ) , , , 60 . 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[54], , , - 50 1 . , , - 2,5 1 , 30%, - , 70% , .. - , 80% - - .</p><p> - - , Rpl - [54]. , - . - , - . - , 10104 ne4 1011 3, - , 6 13 fi, , 10114 ne44 1012 3 ne &gt; 1012 3 , - , -, 27 fi 40 fi .</p><p> , . , , - . - , - R5 10 c - -, - . - , - Rpl - . , , Rpl, - - .</p><p> , Rpl, - o. , o Rpl, RplB o . , - .</p><p> , - - . , -, - 3, Rpl - . - "" - .</p><p>' , , - . fl 19 , - -</p><p>. 178, 5] flfl fl '` fl' fl` 537</p></li><li><p> 13,6 fi. , , o 102 , - , -. -- - -,...</p></li></ul>

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