Was macht einen Reinraum aus? - Class 1 ISO Class 2 ISO Class 3 ISO Class 4 ISO Class 5 ISO Class 6 ISO Class 7 ISO Class 8 ISO Class 9 Reinraumklassen nach DIN EN ISO 14644

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    06-Feb-2018

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<ul><li><p>8</p><p>Prof. Dr. Roland ZengerleFolie 15</p><p>Mikrosystemtechnik: Technologien &amp; Prozesse3. Reinraum &amp; Vakuumtechnik</p><p>Was macht einen Reinraum aus? </p><p>Kontrolle der Umweltparameter:</p><p>h Partikelbelastung</p><p>h Raumtemperatur</p><p>h Luftfeuchtigkeit</p><p>h Luftdruck</p><p>h Spektrale Zusammensetzung des Lichts (z.B. bei Rumen mit photosensitiven Chemikalien: Gelbrume)</p><p>h SterilittEin Reinraum ist also weit mehr als nur ein staubfreier Raum!</p><p>Ein Reinraum ist also weit mehr als nur ein staubfreier Raum!</p><p>Prof. Dr. Roland ZengerleFolie 16</p><p>Mikrosystemtechnik: Technologien &amp; Prozesse3. Reinraum &amp; Vakuumtechnik</p><p>Reinraumklasse Partikelzahl pro foot3</p><p>Partikelgre&gt; 0.5 m</p><p>Partikelgre&gt; 5 m</p><p>10100</p><p>1.00010.000</p><p>100.000</p><p>10100</p><p>1.00010.000</p><p>100.000</p><p>nicht def.nicht def.</p><p>770</p><p>700</p><p>Reinraumklassen nach US Federal Standard 209b</p><p>In einem Reinraum der US-Klasse 100 sind nicht mehr als 100 Partikel, mit einer Gre von mehr als 0,5 m pro foot3 erlaubt</p><p>In einem Reinraum der US-Klasse 100 sind nicht mehr als 100 Partikel, mit einer Gre von mehr als 0,5 m pro foot3 erlaubt</p><p>Partikel</p><p>Volumen</p></li><li><p>9</p><p>Prof. Dr. Roland ZengerleFolie 17</p><p>Mikrosystemtechnik: Technologien &amp; Prozesse3. Reinraum &amp; Vakuumtechnik</p><p>Cleanroom Classification</p><p>Concentration limits (particles/m3)</p><p>0.1m 0.2m 0.3m 0.5m 1m 5m10</p><p>1001.000</p><p>10.000100.000</p><p>1.000.000</p><p>224</p><p>2372.370</p><p>23.700237.000</p><p>10102</p><p>1.02010.200</p><p>102.000</p><p>435</p><p>3523.520</p><p>35.200352.000</p><p>3.520.00035.200.000</p><p>883</p><p>8328.320</p><p>83.200832.000</p><p>8.320.000</p><p>29293</p><p>2.93029.300</p><p>293.000</p><p>ISO Class1ISO Class2ISO Class3ISO Class4ISO Class5ISO Class6ISO Class7ISO Class8ISO Class9</p><p>In einem Reinraum der ISO-Klasse n sind nicht mehr als 10n Partikel, mit einer Gre von mehr als 0,1 m pro m3 erlaubt</p><p>In einem Reinraum der ISO-Klasse n sind nicht mehr als 10n Partikel, mit einer Gre von mehr als 0,1 m pro m3 erlaubt</p><p>Reinraumklassen nach DIN EN ISO 14644 </p><p>Prof. Dr. Roland ZengerleFolie 18</p><p>Mikrosystemtechnik: Technologien &amp; Prozesse3. Reinraum &amp; Vakuumtechnik</p><p>0,1 1100</p><p>101</p><p>102</p><p>103</p><p>104</p><p>105</p><p>106</p><p>107</p><p>100</p><p>101</p><p>102</p><p>103</p><p>104</p><p>105</p><p>106</p><p>107</p><p>Teilchengre [m]</p><p>Teilc</p><p>hend</p><p>icht</p><p>e [m</p><p>-3]</p><p>10</p><p>ISO Class 1ISO Class 2ISO Class 3ISO Class 4ISO Class 5ISO Class 6ISO Class 7ISO Class 8ISO Class 9</p><p>Reinraumklassen nach DIN EN ISO 14644 </p><p>Diagrammdarstellung:</p></li><li><p>10</p><p>Prof. Dr. Roland ZengerleFolie 19</p><p>Mikrosystemtechnik: Technologien &amp; Prozesse3. Reinraum &amp; Vakuumtechnik</p><p>Reinraumklassen nach VDI-Standard 2083</p><p>In einem Reinraum nach VDI-Standard 2083 (Klasse 3) sind nicht mehr als 100 Partikel, mit einer Gre von mehr als 0,5 m pro foot3 erlaubt (entspricht US class 100)</p><p>In einem Reinraum nach VDI-Standard 2083 (Klasse 3) sind nicht mehr als 100 Partikel, mit einer Gre von mehr als 0,5 m pro foot3 erlaubt (entspricht US class 100)</p><p>Natur</p><p>Prof. Dr. Roland ZengerleFolie 20</p><p>Mikrosystemtechnik: Technologien &amp; Prozesse3. Reinraum &amp; Vakuumtechnik</p><p>Korrelation der US-, VDI und ISO Klassen</p><p>US - FS 209b VDI - 2083 DIN ISO 14644</p><p>Class 0.01Class 0.1Class 1Class 10Class 100Class 1.000Class 10.000</p><p>--VDI Class 1VDI Class 2VDI Class 3VDI Class 4VDI Class 5</p><p>ISO Class 1ISO Class 2ISO Class 3ISO Class 4ISO Class 5ISO Class 6ISO Class 7</p><p>US-Class 100:maximal 100 Partikel, mit einer Greber 0,5 mpro foot3</p><p>VDI-Class 3:maximal 100 Partikel, mit einer Greber 0,5 mpro foot3</p><p>DIN ISO Class 5:maximal 3520 Partikel, mit einer Greber 0,5 mpro m3</p></li></ul>

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